“薄膜与微细技术教育部开放实验室”建立于1993年8月，1993年12月正式开放运行，实验室依托上海交通大学。2000年经教育部批准更名为“薄膜与微细技术教育部重点实验室”（ Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education），分别于2002年和2007年通过了教育部评估。
本重点实验室的总体定位是，根据我国经济与社会发展对功能薄膜、纳米材料和微细加工技术与器件发展的重大需求，结合相关科学领域发展趋势和关键问题，系统深入地开展创新性基础和应用基础研究。注重多学科交叉，微纳、信息、能源、生物技术结合，形成了具有紧密联系、互为依托的“非硅MEMS微加工技术”、“薄膜材料与器件”、“纳电子材料与器件”三个主要研究方向，以及较深厚的学术底蕴和特色。承担了多项国家重大科研任务，取得了一批创新性研究成果，为科学前沿研究、国家经济建设和国防科技发展提供了有力的支持。获得了2项国家级技术发明二等奖和十几项省部级科技奖。特别是在非硅MEMS微加工技术及其应用、专用MEMS器件、基于碳纳米管的超级器件、全氟离子交换薄膜、纳米材料与胃癌早期诊断和治疗等研究方面，形成了具有显著特色的代表性创新成果。创办了两份专业英文国际学术期刊，促进了国内国际学术交流，并与多个国外研究单位开展紧密合作，在国际上产生了较大影响。
