实验室于2002年1月经教育部（教技函[2002]1号）正式批准成立。本实验室所属学科“仪器科学与技术”是博士学位一级授权学科，且下属“测试计量技术及仪器”和“精密仪器及机械”两个博士学位二级授权学科。实验室现建筑总面积6000平方米，固定资产7060万元，仪器设备总值4500万元，固定人员48人。
实验室主任
张文栋：1962年9月出生，男，教授，清华大学出站博士后，博士生导师，仪器科学与动态测试教育部重点实验室主任，总装备部科技委兼职委员，中国兵工学会副理事长，中国微米纳米技术学会常务理事，总装备部微米/纳米专家组副组长。国家杰出青年基金获得者，1997年被国务院授予“有突出贡献的中青年专家”，同年获“第5届中国青年科技奖”，1998年获“全国五一劳动奖章”。2004年入选新世纪百千万人才工程国家级人选， 2005年获得“全国先进工作者”称号。曾获国家发明二等奖2项，国家发明三等奖1项，省科技进步奖13项、发明专利3项、发表学术论文190余篇（SCI、EI收录80余篇），出版了专著3部，译著一部。
实验室学术委员会主任
方家熊： 男，1939年10月出生，光传感技术专家，中国科学院上海技术物理研究所研究员。安徽黄山市人。1962年毕业于南京大学物理系，1966年中国科学院研究生毕业。2001年当选为中国工程院院士。著有卫星用长波HgCdTe探测器的研究等论文报告100多篇，参加撰写专著2部，获得六个国家科技奖。
实验室常务副主任
刘俊：男，1968年9月生，教授，博士生导师，北京大学出站博士后，仪器科学与动态测试教育部重点实验室常务副主任，中国兵工学会测试技术专业委员会秘书长。目前担任国家自然基金委评审专家，国家科技部国际合作科技计划评审专家，教育部学位与研究生发展中心评议专家，总装备部惯性技术专业组专家。全国百千万人才计划入选者，新世纪学术技术带头人333人才工程人选，国务院政府津贴和全国“五一劳动奖章”获得者。获得国家发明二等奖一项，省部级一、二等奖13项，发表学术论文87篇，SCI、EI收录40多篇。
实验室副主任
薛晨阳，男， 1971年11月生，山西人，博士，教授，博士导师。 1997年在山西大学光电研究所，获量子光学及激光技术专业硕士学位；2003年在希腊雅典国立科技大学物理系，获得半导体材料专业博士学位，德国柏林工业大学、英国牛津大学访问学者。回国后在中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室从事研究工作，聘为重点实验室副主任。被评为山西省高校青年学科带头人，教育部世纪优秀人才，山西省高校拔尖人才。
