实验室简介
依托于西安工业大学的“陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室”成立于1999年，在上级和学校的支持下，实验室整体实力不断增强，成为西北地区高校光学工程学科领域条件最好的实验室之一。以省级重点实验室为基础，又拓展了“陕西省薄膜技术与微光电器件军民两用技术工程中心”和国家光电子成果转化及产业化基地“光电薄膜与器件研发服务中心”两个省级重点科研基地。
实验室含光学工艺、光学检测、薄膜技术、微光电器件制造与检测等实验室，拥有光学零件加工与检测、光学薄膜制造与检测、微光电器件制造与检测等研究领域的关键技术装备，设备总值3000余万元，是光学工程及相关专业的教学、科研实践基地。光学工艺实验室曾被评为“全国高校先进实验室”。
主要研究方向简介
实验室主要研究方向：薄膜与等离子体技术、光学制造与检测技术、微光电器件制造技术及应用。
薄膜与等离子体技术研究方向的主要研究内容包括：
可见、红外高效高强宽带减反膜；
高反膜器件制造技术；高性能窄带滤波片；
抗激光薄膜的制造技术；
宽束冷阴极离子源、脉冲真空电弧离子源系列化；
类金刚石薄膜的制造与应用技术；
超硬薄膜制造技术；
高精度薄膜厚度实时控制技术；(非)平衡磁控溅射技术与设备；
脉冲真空等离子体镀膜技术与设备；
离子束溅射技术与设备。
Ø 光学制造与检测技术研究方向的主要研究内容包括：
球面、非球面光学表面数控铣磨技术；
超光滑光学表面磁流体抛光技术；
超光滑表面等离子体抛光技术；
球面、非球面光学表面柔性抛光技术与设备；
非球面与复杂表面光学元件测试技术与设备；
薄膜参数的精密测试技术与设备。
微光电器件制造技术及应用研究方向的主要研究内容包括：
常温热成像材料与器件制造、检测、应用技术；
多功能传感器集成制造技术；
纳米材料与器件；
低维聚合物制备与改性；
MEMS与MOEMS工艺技术及其应用。
